Air Bearing Stage
高平直度、低摩擦的氣浮平台整合
空氣軸承線性定位平台利用壓縮空氣形成非接觸支撐，搭配線性馬達與高解析回授，適合高平直度、低摩擦、低振動與長行程精密製程。豪捷科技可依行程、負載、精度、平台尺寸、控制器與整機介面，協助客戶規劃氣浮平台、線性馬達平台與客製化自動化設備整合。
- 奈米精度定位對位平台
- 空氣軸承線性定位平台
- 線性馬達定位平台
- 高平直度、低摩擦、低磨耗運動
- 可搭配光學尺、花崗岩基座與客製化控制架構
應用產業
相關服務項目
空氣軸承線性定位平台適合哪些高精度製程
高平直度掃描與低振動定位
空氣軸承平台適合需要穩定掃描、低摩擦運動與高幾何精度的定位需求，可用於量測、檢測、光學掃描與高精度自動化模組。
半導體、AOI、光學量測與雷射加工應用
當製程需要降低振動、減少磨耗並維持長行程運動穩定性時，可評估氣浮平台搭配線性馬達與光學尺回授。
空氣軸承平台的核心特性
非接觸支撐與低磨耗運動
氣膜支撐可降低接觸摩擦與磨耗，適合重視平順性、穩定性與長期運動品質的精密平台。
線性馬達直驅與高解析回授
可依需求搭配線性馬達、光學尺、干涉儀、控制器與軟體介面，實際解析度與精度依專案條件確認。
花崗岩基座、氣源與平台剛性
平台穩定度與基座、氣源品質、負載配置、安裝面與防護機制相關，需在規格規劃階段一併確認。
可客製的規格與整合項目
- 行程、負載、軸數與平台尺寸
- 光學尺、干涉儀、控制器與軟體介面
- 防塵、防撞、線纜配置與機台整合
- 氣浮平台、線性馬達平台與整機設備整合
規格表與詢價資料清單
| 規格欄位 | 規劃重點 | 目前填寫方式 |
|---|---|---|
| 行程 / 平台尺寸 / 軸數 | 確認 X/Y/Z 或單軸平台需求、安裝空間與工件活動範圍 | 依專案規格確認 |
| 負載 / 剛性 / 偏心條件 | 確認工件、治具、相機、光學模組與加工頭配置 | 依專案規格確認 |
| 直線度 / 平面度 / 重複定位 | 依量測、檢測、掃描或加工需求定義驗收方式 | 依專案規格確認 |
| 解析度 / 速度 / 加速度 | 確認回授方式、控制器、節拍與運動曲線 | 依專案規格確認 |
| 氣源需求 / 回授方式 / 整機介面 | 確認乾淨穩定氣源、過濾調壓、線纜、軟體與安全防護 | 依專案規格確認 |
空氣軸承平台選型要點
- 精度、平直度、重複性與驗收方法
- 行程、速度、負載、偏心與平台安裝面
- 氣源品質、潔淨度、防塵與保護機制
- 控制器、回授方式、軟體與整機介面
與豪捷客製化自動化設備的整合方式
空氣軸承平台可作為高精度自動化設備中的核心定位模組，與視覺定位、AOI、雷射加工、真空吸附、花崗岩構件、線性馬達與電控軟體整合。若平台需要搭配整機開發，可參考 高精度客製化自動化設備 的服務範圍。
若製程需要真空吸附或精密治具，也可搭配 多孔陶瓷真空吸盤 與 精密機械零件與加工件 評估整體方案。
實績與延伸資源
常見問題
空氣軸承平台以壓縮空氣形成非接觸支撐，具低摩擦、低磨耗、平順運動與高幾何精度特性，但需要穩定氣源與精密安裝調校。
常見應用包含半導體檢測、光學量測、AOI、雷射加工、長行程掃描、高平直度定位與高精度自動化設備。
可依行程、負載、精度、平台尺寸、軸數、回授方式、控制需求與整機介面進行客製評估。
建議提供行程、負載、精度、速度、加速度、平台尺寸、氣源條件、回授方式與整機介面需求。
需要維持乾淨穩定的氣源、適當過濾與調壓，並注意安裝調校、平台保護、防撞與防塵配置。