全氣浮 AOI 光罩檢測機
應用產業與製程
全氣浮 AOI 光罩檢測機適合哪些需求
製程痛點與應用情境
光罩或面板的檢測區域、解析度及掃描方式，需與平台行程、平直度及移動穩定性一起確認。氣源、溫度與振動條件也應納入前期評估。
客製設備與整合方式
依檢測需求評估氣浮支撐、平台定位與光學模組的搭配，再確認上下料、資料輸出與環境條件的整機驗收邊界，不預設所有模組均包含在內。
規格與需求確認表
| 欄位 | 確認重點 | 規劃方式 |
|---|---|---|
| 檢測對象 | 尺寸、材質、厚度及易變形條件 | 評估平台行程、支撐與搬送方式 |
| 光學與掃描 | 檢測區域、解析度、FOV 與掃描方向 | 確認成像需求與平台移動方式 |
| 平台條件 | 行程、平直度、速度與掃描節拍 | 評估定位架構及量測方式 |
| 環境與氣源 | 氣源品質、溫度、振動與潔淨條件 | 確認安裝及穩定運作的條件 |
| 整機範圍 | 上下料、光學模組與資料輸出需求 | 界定各模組的整合及驗收責任 |
相關服務與實績案例
常見問題
氣浮平台有助於降低摩擦與振動，提升高平直度掃描穩定性。
可依光罩/面板尺寸、行程與光學需求評估。
需乾淨、穩定、過濾與調壓，實際依規格確認。
可依需求整合 AOI、視覺定位與資料輸出。
可參考全氣浮 AOI 光罩檢測機案例。