全氣浮AOI光罩檢測機

半導體檢測設備

全氣浮AOI光罩檢測機

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• ◆ Product application：Semiconductor industry
• ◆ High-precision accuracy (<1μm, industry-first)
• ◆ High straightness：3μm／1.2m
• ◆ High flatness：<4μm／150x150mm2／aluminum base