奈米精度對位定位平台

精密定位平台

奈米精度對位定位平台

本頁整理此案例的核心規格與應用特色。若您有類似製程或客製化需求，可將工件尺寸、精度、產能與現場條件提供給豪捷科技進一步評估。

• 精密交叉滾柱/ 可達奈米精度
• 高剛性
• 平面度穩定
• 光學尺
• 可另搭配θ軸
• 可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬
• 應用：AOI、雷射加工……等